その他装置

放電プラズマ焼結(SPS)技術をはじめとするSPSパルス通電プロセスは、焼結プロセスだけではなく、接合、表面改質、合成プロセスなど各種加工法を包含しており、機械装置系では真空技術・プレス機械技術・制御技術・温度計測技術など、多岐にわたる技術と密接に関わった複合技術です。当社SPSセンターでは、 SPS装置だけでなく、焼結技術と真空技術と固相拡散接合技術をベースにした様々な新しい材料合成装置のご提案をいたします。


※改良のため下記仕様は予告無く変更される場合があります。

ベルジャー型蒸着装置 SEV-100

蒸着源2kw3連電子銃 980-7104(ANELVA)
抵抗加熱ボート
外観寸法本機 : 1500W×500D×1550H
電子銃操作盤 : 500W×500D×1200H
基板サイズφ150
制御系高真空排気 チャンバリーク
蒸着操作 基板シャッター操作
全て手動
排気系粗引きロータリーポンプ : 排気速度 250L/min
到達圧力 2x10-1Pa
高真空ターボ分子ポンプ : 排気速度 220L/S
到達圧力 1×10-6Pa
ユーティリティー電力3相 AC200V-50A
4L/min

実験用の小型蒸着装置です。操作部と装置本体を一体化することにより、省スペースで設置することができます。蒸着源は2kw 3連電子銃と抵抗加熱ボートを 1基ずつ搭載しており、同時使用も可能です。抵抗加熱による有機EL蒸着も可能で、蒸着源間のコンタミネーション防止のためにシールド板が設けてあります。チャンバー内壁にもシールド板が設けてあり、容易に交換することができます。


戻る